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運営委員会
| 運営委員長 | 荒川 泰彦 | （東京大） |
| 運営委員 | 青柳 克信 | （立命館大） |
| 朝日 一 | （大阪大） |
| 井須 俊郎 | （徳島大） |
| 大野 英男 | （東北大） |
| 荻野 俊郎 | （横浜国大） |
| 尾鍋 研太郎 | （東京大） |
| 上條 健 | （沖電気） |
| 河口 研一 | （富士通研） |
| 河西 秀典 | （シャープ） |
| 工藤 真 | （日立） |
| 纐纈 明伯 | （東京農工大） |
| 高橋 清 | （東工大名誉教授） |
| 竹田 美和 | （名大） |
| 名西 憓之 | （立命館大） |
| 福井 孝志 | （北大） |
| 福島 伸 | （東芝） |
| 藤田 静雄 | （京大） |
| 藤原 康文 | （阪大） |
| 牧本 俊樹 | （NTT） |
| 松本 功 | （大陽日酸イー・エム・シー） |
| 三宅 秀人 | （三重大） |
| 山口 章 | （住友電工） |
| 油利 正昭 | （パナソニック） |
| 吉野 淳二 | （東工大） |
実行委員会
| 実行委員長 | 藤田 静雄 | （京大） |
| 副委員長 | 吉野 淳二 | （東工大） |
| 冨谷 茂隆 | （ソニー） |
| 現地実行委員長 | 太田 実雄 | （東大） |
| 総務委員 | 鍋谷 暢一 | （山梨大） |
| 大島 孝仁 | （東工大） |
| 岡田 成仁 | （山口大） |
| 山口 智広 | （工学院大） |
| 運営委員長付総務委員 | 有田 宗貴 | （東大） |
| 会計委員 | 田淵 雅夫 | （名大） |
| 平間 一行 | （日本電信電話） |
| 会場委員 | 西永 慈郎 | （早稲田大） |
| 本田 善央 | （名大） |
| 窪谷 茂幸 | （東大） |
| 今出 完 | （阪大） |
| 村上 尚 | （農工大） |
論文委員会
| 論文委員長 | 若原 昭浩 | （豊橋技科大） |
| 論文副委員長 | 喜多 隆 | （神戸大） |
| 小林 康之 | （NTT） |
| 末益 崇 | （筑波大） |
| 論文委員 | 秋田 勝史 | （住友電工） |
| 荒木 努 | （立命館大） |
| 池田 浩也 | （静岡大） |
| 石川 靖彦 | （東大） |
| 石田 昌宏 | （パナソニック） |
| 一色 秀夫 | （電通大） |
| 上田 吉裕 | （シャープ） |
| 大兼 幹彦 | （東北大） |
| 大場 康夫 | （東芝） |
| 片山 竜二 | （東北大） |
| 寒川 義裕 | （九大） |
| 北村 雅季 | （神戸大） |
| 塩島 謙次 | （福井大） |
| 杉山 正和 | （東大） |
| 須田 淳 | （京大） |
| 染谷 隆夫 | （東大） |
| 反保 衆志 | （産総研） |
| 土屋 朋信 | （日立製作所） |
| 寺井 慶和 | （阪大） |
| 戸田 泰則 | （北大） |
| 成塚 重弥 | （名城大） |
| 船戸 充 | （京大） |
| 宮本 智之 | （東工大） |
| 本久 順一 | （北大） |
| 森 勇介 | （阪大） |
| 山口 雅史 | （名大） |
| 山田 明 | （東工大） |
| 吉本 昌広 | （京都工繊大） |
| 渡邊 賢司 | （物材機構） |
協賛学協会
| （公社）応用物理学会 |
| （公社）日本化学会 |
| （公社）日本材料学会 |
| （一社）表面技術協会 |
| （一社）日本物理学会 |
| （一社）日本真空協会 |
| （社）電気学会 |
| （社）日本金属学会 |
| （社）日本鉄鋼協会 |
| （社）日本顕微鏡学会 |
| （社）電気化学会 |
| （社）レーザー学会 |
| （社）電子情報通信学会 |
| （社）日本表面科学会 |
| 日本材料科学会 |
| 日本結晶成長学会 |
| 日本結晶学会 |